高選擇率、高滲透率之濾氫薄膜(UHP)

#綠能科技大步走【2019跨域創新 耀飛全球】
半導體及電子製程中會產生大量剩餘氫氣，工研院 #高選擇率高滲透率之濾氫薄膜技術 可以有效回收製程餘氫，為產業創造更大價值！
🕸鈀金屬使用減量60%，成本降50%
🕸氫氣純化能力達99.99%
🕸氫氣回收市場最具競爭力的技術！

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